等離(lí)子清洗機也叫等離(lí)子清潔機，或者等離(lí)子表面處理儀，利用等離(lí)子體(tǐ)來達到常規清洗方法不能達到的效果。等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種狀态，也叫做物(wù)質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離(lí)化便成爲等離(lí)子狀态。等離(lí)子體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離(lí)子、電子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離(lí)子清潔機就是通過利用這些活性組分(fēn)的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。
1.等離(lí)子清洗機真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障
①如系統參數無變化，請确認熱繼電器是否自動保護，按複位鍵，然後啓動真空發生(shēng)系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。
②出現此情況請先觀察系統參數設置有無變化，突然斷電會引起系統參數歸零，導緻設備出現此類報警。
③檢查導線是否有斷路或短路情況。
④如無上述異常，請檢查真空泵。
2.等離(lí)子清洗機三相供電相序異常，請更換相序
①有相序保護繼電器，如出現此類報警，請更換相序。
3.一(yī)路供氣壓力過低，請檢查氣體(tǐ)是否開(kāi)啓或氣體(tǐ)是否耗盡
4.二路供氣壓力過低，請檢查氣體(tǐ)是否開(kāi)啓或氣體(tǐ)是否耗盡
3及4是氣路控制系統報警，出現此報警請先檢查氣體(tǐ)是否打開(kāi)或耗盡。如氣體(tǐ)沒有問題，請檢查設備減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工(gōng)作。檢查電氣線路是否出現斷路或短路。
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