等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種存在狀态。通常，物(wù)質以固體(tǐ)、液體(tǐ)和氣體(tǐ)三種狀态存在，但在某些特殊情況下(xià)，它可以以第四種狀态存在，例如太陽表面的物(wù)質和地球大(dà)氣電離(lí)層中(zhōng)的物(wù)質。這種物(wù)質的狀态稱爲等離(lí)子體(tǐ)态，也稱爲物(wù)質的第四态。
等離(lí)子體(tǐ)中(zhōng)存在以下(xià)物(wù)質：高速運動的電子；處于活化狀态的中(zhōng)性原子、分(fēn)子和原子團（自由基）；電離(lí)的原子和分(fēn)子；分(fēn)子解離(lí)反應過程中(zhōng)産生(shēng)的紫外(wài)線；未反應的分(fēn)子、原子等，但物(wù)質整體(tǐ)保持電中(zhōng)性。
1、等離(lí)子清洗後，清洗後的物(wù)體(tǐ)非常幹燥，無需幹燥即可送入下(xià)道工(gōng)序。
2、不使用三氯乙烯ODS有害溶劑，清洗後不會産生(shēng)有害污染物(wù)。是一(yī)種有利于環境保護的綠色清潔方式。
3、可以深入到物(wù)體(tǐ)的微孔和凹陷處，完成清潔任務，無需考慮被清潔物(wù)體(tǐ)形狀的影響。
4、Harrick等離(lí)子清洗機整個清洗過程可在幾分(fēn)鍾内完成，因此具有效率高的特點。
5、等離(lí)子清洗的技術特點是可以處理不同的基材而不管處理對象。無論是金屬、半導體(tǐ)、氧化物(wù)還是高分(fēn)子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹(shù)脂等聚合物(wù)）都可以很好地進行等離(lí)子體(tǐ)處理。因此，它特别适用于耐熱和耐溶劑的基材。此外(wài)，可以選擇性地清潔材料的整體(tǐ)、局部或複雜(zá)結構。
6、在清洗去(qù)污的同時，還可以改變材料本身的表面性質。如提高表面的潤濕性，提高薄膜的附着力等。
7、自動化程度高；Harrick等離(lí)子清洗機采用高精度控制裝置，時間控制精度非常高；正确的等離(lí)子清洗不會在表面産生(shēng)損傷層，保證表面質量；由于是在真空中(zhōng)進行，不污染環境，保證清潔後的表面不會受到二次污染。
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