Harrick等離(lí)子清洗機主要由電源、匹配器、腔體(tǐ)、電磁閥、流量計、外(wài)接氣體(tǐ)、真空泵和控制電路組成。當出現故障報警時，首先要根據屏幕上的報警提示檢查哪個部位有報警，從而确定故障的大(dà)緻部位，然後再檢查相關部位的各個執行器是否有異常。檢測控制電路故障直觀簡單的方法就是用萬用表檢測是否有短路或開(kāi)路，電壓和電流是否正常。如果要在沒有萬用表的情況下(xià)排除故障，最快的方法就是更換它。首先根據屏幕提示确定故障位置，然後更換相同的元件。如果交流接觸器、熱過載、中(zhōng)間繼電器、相序保護器、流量計等電器元件出現故障，問題将很快得到解決。
如果是燃氣欠壓報警，則需要确認相關進氣口是否有燃氣接入，燃氣壓力、調壓閥、流量計、電磁閥和模拟量接線是否都OK，相關是否屏幕參數的參數設置是否正确。當Harrick等離(lí)子清洗機真空度過高或過低時，應首先考慮參數設置。當真空度太高且參數設置正常時，需要查明腔體(tǐ)和管道是否洩漏，真空泵的抽真空壓力是否正常。将真空計與真空泵直接連接，測量真空泵的抽真空值是否能達标。
如果真空泵的抽真空值正常，說明真空泵是好的，将測量儀連接到抽真空管道上進行測量。如果抽真空值遠高于直接連接真空泵的抽氣值，則表明抽真空管道有洩漏。管道滲漏可能是管道接頭滲漏，也可能是管道滲漏。疏散管道雖然采用金屬不鏽鋼制作，但如果每次疏散時管道與周圍的某一(yī)部分(fēn)發生(shēng)震動和摩擦，随着時間的推移，管道也會出現磨損。如果連接抽真空管道的測量儀測得的真空值與直接連接真空泵測得的真空值沒有明顯差異，則說明抽真空管道也良好。接下(xià)來，隻需在型腔密封處尋找漏氣部位即可。型腔可能洩漏的部位是密封條、玻璃窗、抽氣接頭和外(wài)聯部分(fēn)、空腔的電極和外(wài)聯部分(fēn)，而空腔破裂和外(wài)聯部分(fēn)，最容易發生(shēng)漏氣的部位是密封條和玻璃窗。
Harrick等離(lí)子清洗機電源和匹配器故障在觸發故障時也會在屏幕報警窗口顯示相關提示信息，但有時會因參數設置等原因觸發誤報警信息。這個要根據情況來分(fēn)析。電源或匹配器出現故障時，首先确認參數設置正确，然後檢查設置電源輸出的接線和電壓信号是否正确合理，匹配器與電源的串口通訊是否正确供電正常，再進行人工(gōng)調試。如果調試匹配器的參數，按下(xià)增/減按鈕時相關參數沒有明顯變化，如果電源的功率輸出沒有變化，則說明電源有故障。
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