Harrick等離(lí)子清洗機都有哪幾種清洗方式？

　　1、化學反應

　　血漿中(zhōng)堿性酶的氧自由基與材料表面的有機化合物(wù)反應，也叫PE。用co2清洗，使非揮發性有機化合物(wù)變得揮發性，産生(shēng)二氧化碳、一(yī)氧化碳和水。有機清洗的好處是清洗率高，選擇性好，能有效清洗有機化學空氣污染物(wù)。主要缺點是轉化的金屬氧化物(wù)可能會在材料表面再次産生(shēng)。在引線鍵合工(gōng)藝中(zhōng)，金屬氧化物(wù)是最不期望出現的，通過适當選擇工(gōng)藝的主要參數可以避免這種缺陷。

　　

　　也叫磁控濺射刻蝕(SPE)是利用等離(lí)子體(tǐ)中(zhōng)的正離(lí)子進行純物(wù)理撞擊，去(qù)除附着在材料表面的分(fēn)子。氩氣用于清洗，正氩離(lí)子以足夠的動能對電子器件表面進行負沖擊，沖擊力足以去(qù)除所有灰塵。聚合物(wù)中(zhōng)的生(shēng)物(wù)大(dà)分(fēn)子被離(lí)子鍵分(fēn)離(lí)成小(xiǎo)分(fēn)子水，由機械泵氣化排出。根據氩等離(lí)子體(tǐ)清洗，可以改變材料表面的外(wài)部經濟外(wài)觀，使材料在分(fēn)子結構水平上越來越“粗糙”，這可以大(dà)大(dà)提高表面特異性并推進表面的粘附。氩氣低溫等離(lí)子體(tǐ)的好處是不容易将所有金屬氧化物(wù)留在飾面材料表面。缺陷很可能導緻過度侵蝕或空氣污染物(wù)顆粒積聚在其他不可預料的區域，但是這種缺陷可以通過微調主要工(gōng)藝參數來控制。