等離(lí)子清洗機(plasma cleaner)也叫等離(lí)子清潔機，或者等離(lí)子表面處理儀，是一(yī)種新的*科技技術，利用等離(lí)子體(tǐ)來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種狀态，也叫做物(wù)質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離(lí)化便成爲等離(lí)子狀态。等離(lí)子體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離(lí)子、電子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離(lí)子清潔機就是通過利用這些活性組分(fēn)的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。
等離(lí)子清洗機的優點介紹：
一(yī)、清洗對象經等離(lí)子清洗之後是幹燥的，不需要再經幹燥處理即可送往下(xià)一(yī)道工(gōng)序。可以提高整個工(gōng)藝流水線的處理效率；
二、等離(lí)子清洗使得用戶可以遠離(lí)有害溶劑對人體(tǐ)的傷害，同時也避免了濕法清洗中(zhōng)容易洗壞清洗對象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗後不會産生(shēng)有害污染物(wù)，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在全球高度關注環保的情況下(xià)越發顯出它的重要性；
四、采用無線電波範圍的高頻(pín)産生(shēng)的等離(lí)子體(tǐ)與激光等直射光線不同。等離(lí)子體(tǐ)的方向性不強，這使得它可以深入到物(wù)體(tǐ)的微細孔眼和凹陷的内部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物(wù)體(tǐ)的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離(lí)子清洗，可以使得清洗效率獲得大(dà)的提高。整個清洗工(gōng)藝流程幾分(fēn)鍾内即可完成，因此具有産率高的特點；
六、等離(lí)子清洗需要控制的真空度約爲100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較爲昂貴的有機溶劑，這使得整體(tǐ)成本要低于傳統的濕法清洗工(gōng)藝；
七、使用等離(lí)子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放(fàng)等處理措施，所以生(shēng)産場地很容易保持清潔衛生(shēng)；
八、在完成清洗去(qù)污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏着力等，這在許多應用中(zhōng)都是非常重要的；
九、等離(lí)子體(tǐ)清洗可以不分(fēn)處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體(tǐ)、氧化物(wù)，還是高分(fēn)子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹(shù)脂等高聚物(wù)）都可以使用等離(lí)子體(tǐ)來處理。因此特别适合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體(tǐ)、局部或複雜(zá)結構進行部分(fēn)清洗。
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