等離(lí)子清洗機的清洗原理介紹
更新時間：2022-05-13 點擊次數：2138
等離(lí)子清洗機(plasma cleaner)也叫等離(lí)子表面處理儀，是一(yī)種新的技術，利用等離(lí)子體(tǐ)來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種狀态，也叫做物(wù)質的第四态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離(lí)化便成爲等離(lí)子狀态。等離(lí)子體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離(lí)子、電子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離(lí)子清洗機就是通過利用這些活性組分(fēn)的性質來處理樣品表面，從而實現清潔等目的。
等離(lí)子清洗機中(zhōng)的等離(lí)子體(tǐ)是物(wù)質的一(yī)種存在狀态，通常物(wù)質以固态、液态、氣态三種狀态存在，但在一(yī)些特殊的情況下(xià)有第四種狀态存在，如地球大(dà)氣中(zhōng)電離(lí)層中(zhōng)的物(wù)質。等離(lí)子體(tǐ)狀态中(zhōng)存在下(xià)列物(wù)質：處于高速運動狀态的電子；處于激活狀态的中(zhōng)性原子、分(fēn)子、原子團（自由基）；離(lí)子化的原子、分(fēn)子；未反應的分(fēn)子、原子等，但物(wù)質在總體(tǐ)上仍保持電中(zhōng)性狀态。
等離(lí)子清洗機的清洗原理是在真空腔體(tǐ)裏，通過射頻(pín)電源在一(yī)定的壓力情況下(xià)起輝産生(shēng)高能量的無序的等離(lí)子體(tǐ)，通過等離(lí)子體(tǐ)轟擊被清洗産品表面，以達到清洗目的。
等離(lí)子清洗機清洗原理：
1.激活鍵能，交聯作用
等離(lí)子體(tǐ)中(zhōng)的粒子能量在0~20eV，而聚合物(wù)中(zhōng)大(dà)部分(fēn)的鍵能在0~10eV，因此等離(lí)子體(tǐ)作用到固體(tǐ)表面後，可以将固體(tǐ)表面的原有的化學鍵産生(shēng)斷裂，等離(lí)子體(tǐ)中(zhōng)的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大(dà)大(dà)地激活了表面活性。
2.對材料表面的刻蝕作用--物(wù)理作用
等離(lí)子清洗機中(zhōng)的大(dà)量離(lí)子、激發态分(fēn)子、自由基等多種活性粒子，作用到固體(tǐ)樣品表面，不但清除了表面原有的污染物(wù)和雜(zá)質，而且會産生(shēng)刻蝕作用，将樣品表面變粗糙，形成許多微細坑窪，增大(dà)了樣品的比表面。提高固體(tǐ)表面的潤濕性能。
3.形成新的官能團--化學作用
如果放(fàng)電氣體(tǐ)中(zhōng)引入反應性氣體(tǐ)，那麽在活化的材料表面會發生(shēng)複雜(zá)的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。
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