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    微納結構三維形貌測量儀

    更新時間：2024-06-04

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    微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白(bái)光幹涉掃描原理，以光波長作爲測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知(zhī)識産權的高精度解析算法，實現連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物(wù)體(tǐ)三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外(wài)觀參數測量結果。
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