産品名稱：TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術指标：
曝光場面積：20mm×20mm
分(fēn)辨力：2μm；
照明不均勻性：±2%
物(wù)鏡倍率：2.5倍(縮小(xiǎo))
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
基片尺寸：4 英寸
工(gōng)件台運動範圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
工(gōng)件台運動定位精度：±0.65μm
調焦台運動靈敏度：1μm
對準精度：±0.5μm
調焦台運動行程：5mm
檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
轉動台行程：±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适應非标準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置：
（1）照明系統：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
（2）工(gōng)件台系統：X台：電機驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光栅（美國） Y台：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光栅2（美國） 轉動台：電機及驅動器（日本樂孜），轉動軸系 調平台：電機及驅動器（3套）、調平機構 Z台：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構; 承片台：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
（3）檢焦系統：焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
（4）對準系統：對準光學檢測系統（2套）、CCD（2套）、對準軟件
（5）電控系統：汞燈電源及觸發器、主機控制系統、軟件、計算機、顯示器、接口
（6）其他部件：底座 減震器（4個);控制櫃桌;氣動系統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
（7）其他附件：真空泵一(yī)台(無油泵);空壓機一(yī)台（靜音泵）;管道
當前位置：
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